什么原因會(huì)導(dǎo)致高純氮色譜分析儀分析的數(shù)據(jù)產(chǎn)生偏差

發(fā)布日期：2017-01-20 00:00 來源：http://m.mulanhe.com 點(diǎn)擊：

什么原因會(huì)導(dǎo)致高純氮色譜分析儀分析的數(shù)據(jù)產(chǎn)生偏差

高純氮在集成電路、半導(dǎo)體和電真空器件制造中用作保護(hù)氣和運(yùn)載氣，化學(xué)氣相淀積時(shí)的載氣，液體擴(kuò)散源的攜帶氣，在高溫?cái)U(kuò)散爐中用作器件的保護(hù)氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮?dú)饧兌葹?9.99%以上。在航天技術(shù)中，液氫加注系統(tǒng)必須先用高純氮置換，再用高純氦置換。

在儀器應(yīng)用的過程中，影響因素種類較多且變化較復(fù)雜，而要想有效地控制這些影響因素及排除干擾測定的因素則困難比較大。例如微量氧的測定，不但要嚴(yán)格控制系統(tǒng)材質(zhì)和密封，而且系統(tǒng)的潔凈等諸多因素也必須逐一解決好，否則，氧成分分析不會(huì)得到正確的測定結(jié)果。而對(duì)于氣體中微量水含量的測定，除了考慮以上提到的各種影響因素外，還必須考慮到樣氣中的水在管道內(nèi)的吸附平衡題目，而這一題目的妥善處理必須依靠反復(fù)試驗(yàn)，了解其變化情況和規(guī)律，把握其中的操縱技術(shù)，以便得到正確無誤的結(jié)果。當(dāng)然，使用氣相色譜儀測定高純氣體中ppm-ppb級(jí)雜質(zhì)成分含量要考慮和控制的影響因素就更加復(fù)雜了。在分析儀器的應(yīng)用過程中，對(duì)于每一次測定結(jié)果的數(shù)據(jù)，必須作出誤差分析，以確定數(shù)據(jù)分析的真實(shí)性、可靠性和可信程度。一個(gè)合格的分析工作者是不會(huì)也不應(yīng)該馬馬虎虎地把每次分析測定的結(jié)果上報(bào)或公布的。一般是在測定結(jié)果得出后，經(jīng)過誤差分析，在確定分析數(shù)據(jù)的誤差總和小于規(guī)定的答應(yīng)誤差時(shí)，才將這一個(gè)(或一組)數(shù)據(jù)視為正確測定結(jié)果上報(bào)或公布。否則，不正確的數(shù)據(jù)會(huì)給生產(chǎn)治理者帶來嚴(yán)重的不良后果。

高純氮色譜分析儀