高純氬色譜分析儀

詳細(xì)介紹

高純氬色譜分析儀

GC-LTH型氣相色譜儀適用于高純氣體、超高純氣體及電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測。該產(chǎn)品配置氬離子化（AID）檢測器；采用帶吹掃保護(hù)氣路的六通或十通閥；上述部分與氬氣純化器、無死體積取樣閥等部件一起組成一套完整及解決方案。

組分檢測限：

組分檢測限（ppm）

CO ≤0.1

CH4 ≤0.1

CO2 ≤0.1

O2 ≤0.1

H2 ≤0.1

N2 ≤0.1

操作系統(tǒng)

該儀器通過中心切割與反吹系統(tǒng)可完成包括高純氮、高純氫、高純氧、高純二氧化碳、高純氬、氪氣、氙氣、氖氣等高純氣體以及硅烷等電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測。

去除氣體：H2、O2、N2、CO、CO2、CH2、H20等

載氣純化器：惰性氣體

可大操作壓力：2Mpa

殘留濃度：≤20ppb

無死體積取樣閥

載氣專用減壓閥

背壓閥控制的進(jìn)樣技術(shù)

外型尺寸：580550500（mm）

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